[发明专利]一种二苯锍结构的光致产酸剂及其合成方法在审
| 申请号： | 202110162476.5 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN112920099A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 张猛;王巧玲 | 申请（专利权）人： | 华衍化学（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C07C381/12 | 分类号： | C07C381/12;G03F7/004 |
| 代理公司： | 合肥鸿知运知识产权代理事务所(普通合伙) 34180 | 代理人： | 高小改 |
| 地址： | 200030 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种二苯锍结构的光致产酸剂及其合成方法，涉及光刻胶领域，光致产酸剂具有以下结构： |
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| 搜索关键词： | 一种 二苯锍 结构 光致产酸剂 及其 合成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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