[发明专利]一种原位谱学表征系统有效
| 申请号： | 202110164327.2 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN112946002B | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 崔义;丁丁;李浩;龚忠苗 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01N23/2273 | 分类号： | G01N23/2273 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种原位谱学表征系统，包括第一样品处理室、样品分析室和可移动的样品承载台，第一样品处理室和样品分析室之间设置有第一管道，样品承载台通过第一管道在第一样品处理室和样品分析室之间进行样品传送；其中，第一样品处理室包括第一抽真空装置，能够使样品在真空环境下进行传送。本发明解决了将处理后的样品转入XPS样品分析室时，空气中水汽和氧气会干扰分析结果的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原位 表征 系统 | ||
【主权项】：
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