[发明专利]探针卡保持装置以及检查装置在审
| 申请号： | 202110166385.9 | 申请日： | 2021-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN113341289A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 山县一美;川嶋龙雄 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/073;G01R1/04 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;朴秀玉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于防止探针卡的破损的探针卡保持装置以及检查装置。包括：框架，其通过真空吸附来保持探针卡；密封部，其设于上述框架，并且与上述探针卡接触而形成密闭空间；配置部，其在将上述探针卡保持于上述框架时，用于对形成于上述探针卡的外周部的第一卡合部进行配置；第二卡合部，其能够在避开上述配置部的位置和与上述配置部重叠的位置之间切换；以及驱动部，其用于驱动上述第二卡合部，在真空吸附解除，并且上述第一卡合部与上述第二卡合部卡合时，上述探针卡在上述密封部维持与上述探针卡的密封的状态下被保持。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 保持 装置 以及 检查 | ||
【主权项】：
暂无信息
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