[发明专利]一种压电驱动的真空密封微镜

摘要

本发明公开了一种压电驱动的真空密封微镜，自下而上依次由基板、背腔板、隔离层、结构层以及前腔板连接构成。微镜内部具有真空腔体，结构层中的可动部分位于该真空腔体内；可动部分的振动均发生在真空环境中，不产生结构与空气相互作用的噪声，同时结构内部的微弱振动由于处于真空环境而无法通过空气传导至微镜外。微镜的结构层包括单轴和双轴两种形式，分别对应单轴微镜和双轴微镜。微镜采用压电驱动。本发明微镜采用一体化微纳制造工艺制备，实现了芯片级的真空密封，极大降低乃至消除了噪声，同时芯片体积小，结构紧凑，适用范围大。