[发明专利]单边输出的铌酸锂薄膜双Y分支光波导相位调制器在审
| 申请号： | 202110167091.8 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN112965272A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 郑帅峰;富松;朱朝轩;王超;谢佳勇 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十四研究所 |
| 主分类号： | G02F1/035 | 分类号： | G02F1/035;G02F1/03;G01C19/72 |
| 代理公司： | 重庆乐泰知识产权代理事务所(普通合伙) 50221 | 代理人： | 刘佳 |
| 地址： | 400060 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单边输出的铌酸锂薄膜双Y分支光波导相位调制器，包括单边输出的双Y分支光波导相位调制器芯片，所述双Y分支光波导相位调制器芯片包括衬底、二氧化硅层、光波导层和保护层，所述保护层上设有调制电极；所述光波导层包括铌酸锂薄膜层和铌酸锂脊形光波导，所述铌酸锂脊形光波导形成单边输出的双Y分支光波导结构。本发明中，过渡光波导采用曲线结构，有效消除了辐射模在光路中耦合形成的串扰和噪声；另外，本发明通过改变铌酸锂薄膜光波导芯片的结构，增大了铌酸锂脊形光波导与保护层的折射率差，进而增强了对光的束缚能力，使光波导的弯曲半径大大减小，并实现了单边输出的结构，实现了器件的小型化。 | ||
| 搜索关键词： | 单边 输出 铌酸锂 薄膜 分支 波导 相位 调制器 | ||
【主权项】：
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