[发明专利]发射针、电子源、电子显微镜及大半径电子束形成方法在审
| 申请号： | 202110170117.4 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN112992632A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 郝占海;蔡素枝;陆梁 | 申请（专利权）人： | 大束科技（北京）有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/075;H01J37/285 |
| 代理公司： | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 11471 | 代理人： | 高淑凤 |
| 地址： | 102200 北京市昌平区回*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种发射针、电子源、电子显微镜及大半径电子束形成方法，涉及电子显微镜技术领域，解决了发射灯丝释放的用于照明的电子束半径范围较小，亮度低，影响扫描速度的技术问题。该发射针位于电子源中发射电子，其包括针本体，针本体靠近吸出极的一端存在有发射面，且发射面的半径r大小满足20um≤r≤200um，且吸出极上的光阑允许发射面发射出的用于照明的电子束经过。上述电子源包括具有光阑的吸出极和上述发射针，光阑的孔径与发射面发射出的用于照明的电子束直径相适配。本发明发射针的前端形成发射面，用于照明的优质电子束半径范围较大，提高亮度，增大扫描速度，减少扫描时间，实现快速扫描；更适用于大束流和多束分束系统。 | ||
| 搜索关键词： | 发射 电子 电子显微镜 半径 电子束 形成 方法 | ||
【主权项】：
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