[发明专利]一种退火装置及其工作方法在审
| 申请号： | 202110173408.9 | 申请日： | 2021-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN112981541A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 龚来俊;储沼泽;王俊;刘恒;李泉灵 | 申请（专利权）人： | 苏州长光华芯光电技术股份有限公司;苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B31/22 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 薛异荣 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市高新区昆仑山路189号*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种退火装置及其工作方法，退火装置包括退火腔主体和气流循环风机，气流循环风机设置于退火腔主体外部，气流循环风机包括旋转件和设置于旋转件外侧的壳体，壳体与退火腔主体密封连通。在退火的过程中，旋转件进行旋转以带动退火腔主体内的气流流动，使得退火腔主体内不同位置的热量发生交换，从而提高了退火腔主体内不同位置的温度的均匀性；同时，气流循环风机设置于退火腔主体的外部，不占用退火腔主体的内部空间，从而增加了可同时进行退火的待退火件的数量，提高了退火效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 退火 装置 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
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