[发明专利]一种稳态微波等离子体的测算方法有效

专利信息
申请号: 202110173984.3 申请日: 2021-02-06
公开(公告)号: CN112949045B 公开(公告)日: 2022-10-14
发明(设计)人: 杨阳;朱铧丞 申请(专利权)人: 四川大学
主分类号: G06F30/20 分类号: G06F30/20;G06F17/11
代理公司: 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 代理人: 胡东东
地址: 610041 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种稳态微波等离子体的测算方法,该方法采用在稳态微波等离子体条件下,对等离子体的电子密度和介电系数等参数进行宏观等效表征,建立稳态微波等离子体多物理场耦合计算模型,通过迭代求解的过程,寻找到稳态时的电子密度的分布,从而获得稳态等离子体。目的在于避免了产生等离子体的中间复杂的计算过程,直接通过每次稳态下的电子密度的分布进行求解,计算方法简单,且更易于仿真和计算。
搜索关键词: 一种 稳态 微波 等离子体 测算 方法
【主权项】:
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