[发明专利]声波谐振器制作方法及声波谐振器在审
| 申请号： | 202110174256.4 | 申请日： | 2021-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN113054941A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 龚颂斌;加布里埃尔·维达尔·阿尔瓦雷斯 | 申请（专利权）人： | 偲百创（深圳）科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 刘佳妮 |
| 地址： | 518048 广东省深圳市福田区梅林街道梅都社*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种声波谐振器制作方法及声波谐振器，在压电晶圆衬底上制备第一叠层，将第一叠层远离压电晶圆衬底的一侧键合到承载晶圆上，然后对压电晶圆衬底远离第一叠层的一侧进行减薄后制备第二叠层，形成声波谐振器。通过该方法制成的声波谐振器，第二叠层、压电晶圆衬底、第一叠层和承载晶圆层叠设置，承载晶圆起到承载作用，压电晶圆衬底减薄而形成的压电薄膜可以被激发声振动，第一叠层和第二叠层可以传输电信号和束缚声波信号，使得到的声波谐振器能够在高频下工作，声波谐振器具有特定的层叠组合和压电薄膜,可以激发和支持高性能的声学振动模式,低损耗、高品质因数、宽带宽和低温度灵敏度，使用可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 制作方法 | ||
【主权项】：
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