[发明专利]一种在线监测OVD疏松体密度的设备及方法在审

专利信息
申请号: 202110174684.7 申请日: 2021-02-07
公开(公告)号: CN112945797A 公开(公告)日: 2021-06-11
发明(设计)人: 沈小平;杨意;朱陈明;崔德运;梁伟;何炳;王樯 申请(专利权)人: 通鼎互联信息股份有限公司;江苏通鼎光棒有限公司
主分类号: G01N9/02 分类号: G01N9/02;B25B11/00
代理公司: 天津合正知识产权代理有限公司 12229 代理人: 李成运;石熠
地址: 215233 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种在线监测OVD疏松体密度的设备及方法,包括用来沉积疏松体的沉积腔,所述沉积腔内设有水平放置芯棒的夹具,夹具上方与芯棒平行方向安装有激光扫描测径系统,夹具下方安装有喷灯平台;所述激光扫描测径系统设有测径的激光装置;所述夹具内设有称重装置,所述控制器通过控制激光装置左右移动,每间隔固定距离进行直径测量与记录,直至完成对整个疏松体的直径连续测量,获得一组疏松体直径的数据,通过该组数据以及称重装置的数据,计算当前阶段疏松体密度,根据密度实时调整SiO2颗粒的形成。本发明在沉积过程中在线监测疏松体的直径,根据密度实时调整SiO2颗粒的形成,及时控制疏松体的密度,从而制备大尺寸预制棒。
搜索关键词: 一种 在线 监测 ovd 疏松 密度 设备 方法
【主权项】:
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