[发明专利]一种大口径光学元件真空应力测试仪有效

专利信息
申请号: 202110175452.3 申请日: 2021-02-06
公开(公告)号: CN112964409B 公开(公告)日: 2022-02-22
发明(设计)人: 贾宝申;姚彩珍;苏春洲;蒋一岚;廖威;唐洪平;张丽娟 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
主分类号: G01L5/00 分类号: G01L5/00;G01M11/00;G01M11/08
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 张天一
地址: 621900*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开一种大口径光学元件真空应力测试仪,用于大口径光学元件在真空条件下的应力测量。本发明的大口径光学元件真空应力测试仪,采用不锈钢真空腔,连接分子泵实现高真空;在真空腔的底部铺设LED光源,光源上方分别放置偏振片和匀光片。真空腔室外侧布置支架,支架上布置二维导轨;导轨之上安装探测器,探测器内部自下而上分别布置四分之一波片和偏振片。本发明的大口径光学元件真空应力测试仪适用于大口径光学元件真空状态下的应力分布,具有结构简单,操作方便的优点。
搜索关键词: 一种 口径 光学 元件 真空 应力 测试仪
【主权项】:
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