[发明专利]光学装置、曝光装置以及物品的制造方法在审
| 申请号： | 202110176119.4 | 申请日： | 2021-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN113253574A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 矢田裕纪 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及光学装置、曝光装置以及物品的制造方法。为了提供一种抑制光学性能的变化、提高镜筒的刚度、并且紧凑的光学装置，本发明的光学装置的特征在于，包括：光学元件(104a、104b)；以及镜筒(107)，具有外壁(201)、内壁(204)以及肋(202)，该肋设于外壁(201)与内壁(204)之间，并且与外壁(201)和内壁(204)中的至少一方结合，该镜筒用于收纳光学元件(104a、104b)，在镜筒(107)内，在外壁(201)与内壁(204)之间划定有从气体供给部件(205)供给的气体的流路(L)，并且在内壁(204)的内侧划定有收纳光学元件(104a、104b)的光学元件收纳空间(S)，气体通过流路(L)和光学元件收纳空间(S)。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 装置 曝光 以及 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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