[发明专利]提高传感器顽健性的系统和方法在审
| 申请号： | 202110176431.3 | 申请日： | 2021-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN113257749A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | C·T·奥尔森;M·W·戴维斯;D·P·里默;M·S·朗 | 申请（专利权）人： | 哈钦森技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/29 | 分类号： | H01L23/29;H01L23/31;H01L23/00;H01L23/60;H01L21/56;G01D5/12 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 王永建 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本文描述了一种提高传感器顽健性的系统和方法，尤其是描述了一种装置。所述装置包括基板；在所述基板上形成的一个或多个传感器以及一个或多个电路，所述一个或多个电路与所述一个或多个传感器中的至少一个电耦合；以及在所述传感器上方形成的金属层，其中，所述金属层被定位于所述一个或多个传感器上方以提供屏障。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 传感器 顽健性 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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