[发明专利]一种高纯铜管靶的制备方法有效

专利信息
申请号: 202110177299.8 申请日: 2021-02-09
公开(公告)号: CN112981335B 公开(公告)日: 2022-10-04
发明(设计)人: 岳灿甫;张雪凤;方宏;孙虎民 申请(专利权)人: 丰联科光电(洛阳)股份有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;C23C14/14;C22B15/00;C22B9/04;B22D11/041;B23P15/00;B21C23/08;B21D3/00;B21C29/02
代理公司: 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 代理人: 宋晨炜
地址: 471000 河南省洛阳市中国(*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明公开了一种高纯铜管靶的制备方法,包括含铜量99.99%以上的电解铜的真空熔炼拉铸锭坯及锭坯热挤压成形和加工。首先进行高纯铜锭坯的真空熔炼制备,制备的高纯铜圆锭坯热挤压成形制备高纯铜管坯,高纯铜管坯在液压校形机上进行校形,使高纯铜管坯的直线度小于1mm/m。校直后的高纯铜管坯在数控机床上进行精密加工,使其尺寸精度和表面粗糙度达到规定要求,形成不同规格的成品高纯铜管靶。用本发明制备的高纯铜管靶晶粒度≤100μm,完全满足液晶面板或光伏产业对于高纯铜靶材的要求,具有显著的经济与社会效益。
搜索关键词: 一种 高纯 铜管 制备 方法
【主权项】:
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