[发明专利]阴极组件和成膜装置有效
| 申请号： | 202110177569.5 | 申请日： | 2021-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN113337797B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 品田正人;E·N·阿瓦拉 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;徐飞跃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种阴极组件和成膜装置。阴极组件具有：能够发射出溅射粒子的靶材；具有与靶材接合的金属制的冷却板的靶材冷却部；和对靶材进行供电的电源，靶材在溅射成膜时形成有相对高温的高温区域，冷却板具有：供冷却介质流通的冷却介质流通空间；以及在厚度方向上界定冷却介质流通空间的第1壁部和第2壁部，在冷却介质流通空间中，由与第1壁部和第2壁部结合在一起的第1分隔板以及仅与第1壁部和第2壁部的任一者结合在一起的第2分隔板形成冷却介质的流路，在冷却介质流通空间的与高温区域对应的部分不存在第1分隔板。根据本发明，能够抑制溅射时被加热的靶材的热膨胀所引起的剥离。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极 组件 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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