[发明专利]能够供电至阳极的供电体及镀覆装置有效
| 申请号： | 202110177624.0 | 申请日： | 2017-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN112981512B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 藤方淳平 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D17/12 | 分类号： | C25D17/12;C25D7/12 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;沈静 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供能够供电至阳极的供电体及镀覆装置，在阳极进行溶解时，与现有技术相比能够降低供电体与阳极的接触状态的恶化。供电体能够供电至在镀覆槽内对基板进行镀覆时使用的阳极(5)，该供电体具有：能够配置在阳极(5)的外周的主体部(1)；和配置在主体部(1)且能够在从主体部(1)朝向主体部(1)所包围的区域(80)的方向上对主体部(1)施加第1力(100)的弹簧(82)。 | ||
| 搜索关键词： | 能够 供电 至阳 镀覆 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社荏原制作所，未经株式会社荏原制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110177624.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：信息处理方法及装置
- 下一篇：接枝聚合的亲水性SERS印迹膜的构建方法和用途
