[发明专利]压力传感器在审
| 申请号： | 202110177990.6 | 申请日： | 2021-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN113280969A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 新村悠祐;石原卓也;添田将;关根正志 | 申请（专利权）人： | 阿自倍尔株式会社 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压力传感器，其通过具备将堆积膜分割的结构，将由堆积膜的内部应力引起的膜片的变形抑制到期望的程度。该压力传感器(13A)具备形成供被测定流体流入流出的压力室(44)的壁面的一部分的薄板状的膜片(41A)，在膜片(41A)的与被测定流体接触的一侧(41Ab)形成有多个凹部，该多个凹部的间隔为10μm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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