[发明专利]一种二氧化钒单晶微纳米线及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 202110178476.4 | 申请日： | 2021-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN112981530B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 程春;石润;陈勇;申楠;孔伟光;赵娅萱;王子旭;甘翊辰 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | C30B29/16 | 分类号： | C30B29/16;C30B29/62;C30B25/00;H01L29/24 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种二氧化钒单晶微纳米线及其制备方法与应用，所述制备方法包括以下步骤：(1)混合五氧化二钒粉末与二氧化硅粉末，得到钒源粉末；(2)将生长衬底置于步骤(1)所得钒源粉末正上方，一并放入加热系统；(3)将步骤(2)所述加热系统抽真空并通入保护气体，启动升温程序进行化学气相沉积反应，制得二氧化钒单晶微纳米线。本发明实现了可控性地、高质量地定向生长各种不同相的二氧化钒晶体，进而拓宽了二氧化钒器件的应用范围并优化了其器件性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 钒单晶微 纳米 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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