[发明专利]一种高定域性三维电沉积装置及方法有效
| 申请号： | 202110180155.8 | 申请日： | 2021-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN112981471B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 陈晓磊;朱嘉俊;陈嘉森;蔡天煜;黄恒强;郭钟宁 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C25D1/00 | 分类号： | C25D1/00;B33Y10/00;B33Y30/00 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 510090 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及三维电沉积技术领域，具体涉及一种高定域性三维电沉积装置，包括底座、三自由度运动机构、液池、夹具、喷嘴、供液管以及阳极材料；所述三自由度运动机构设置在所述底座上，所述喷嘴、供液管以及阳极材料通过三通转接头进行连接并相连通，所述三通转接头通过所述夹具与所述三自由度运动机构连接，所述液池设置在所述底座上且位于所述喷嘴的下方，所述液池内部装有高密度不溶性绝缘液体。本发明的三维电沉积装置，有效地避免了电镀液对阴极基底的杂散沉积，提高了三维电沉积的定域性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高定域性 三维 沉积 装置 方法 | ||
【主权项】：
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