[发明专利]大数值孔径物镜的波像差拼接测量装置及测量方法有效
| 申请号： | 202110180217.5 | 申请日： | 2021-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN112964455B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 卢云君;唐锋;王向朝;郭福东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种大数值孔径的物镜波像差测量装置及测量方法，测量装置包含波面测量模块、标准球面反射镜、可提供旋转和倾斜调整的旋转机构。待测物镜置于波面测量模块和标准球面反射镜中间，其光轴与波面测量模块光轴重合。将待测物镜全数值孔径范围内的波前划分为一系列子孔径波前，由旋转机构控制标准球面反射镜实现各子孔径的定位，由波面测量模块对子孔径数据进行测量，通过对子孔径数据进行拼接计算，最终得到待测物镜在全数值孔径范围内的波像差信息。同时，通过标定波面测量模块的系统误差，提高了拼接测量精度。本发明具有测量通用性好、测量装置简单、可测的待测物镜数值孔径可扩展的特点，尤其适用于数值孔径N.A为0.9及以上的物镜波像差测量。 | ||
| 搜索关键词： | 数值孔径 物镜 波像差 拼接 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
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