[发明专利]一种氮化镓器件可靠性测试装置及测试方法有效
| 申请号： | 202110180716.4 | 申请日： | 2021-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN112986779B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 许亚坡;林志东;徐宁;洪燕东;刘成;何俊蕾;叶念慈 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361100 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氮化镓器件可靠性测试装置及测试方法，所述装置包括负载电阻、负载电容、第一半导体开关器件，负载电阻的一端连接至直流电源，负载电阻的另一端连接至第一半导体开关器件的漏极，第一半导体开关器件的源极分别连接至待测氮化镓器件的漏极、负载电容的一端，所述负载电容的另一端连接至直流电源，待测氮化镓器件的源极接地；第一半导体开关器件的栅极连接至第一脉冲发生器，待测氮化镓器件的栅极连接至第二脉冲发生器。采用本发明的装置及测试方法不仅大大降低系统测试功耗，而且可以单独宽范围加速测试，满足氮化镓器件的低功耗、高灵活性、多维度、大批量测试需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 器件 可靠性 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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