[发明专利]一种电化学沉积装置有效
申请号: | 202110181155.X | 申请日: | 2021-02-09 |
公开(公告)号: | CN112941582B | 公开(公告)日: | 2023-08-29 |
发明(设计)人: | 蒋新;张军;施利君;陈书良 | 申请(专利权)人: | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
主分类号: | C25D5/54 | 分类号: | C25D5/54;C25D5/08;C25D17/00 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215555 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及电化学沉积技术领域,尤其涉及一种电化学沉积装置,其包括下壳体、喷盘、板架、阳极网和输送管路,其中,下壳体内容置有电化学沉积所需的药液,喷盘竖直设置在下壳体内,喷盘内设置有药液腔以容置药液,板架设置在下壳体内,玻璃可拆卸设置在板架上,玻璃浸没在下壳体内的药液内,玻璃的表层能够连通电源负极,喷盘能够向玻璃的表面喷药液,阳极网设置在下壳体内,阳极网设置在喷盘未设置板架的一侧,阳极网能够连通电源正极以与玻璃之间形成电化学沉积所需的电场,输送管路能够抽取下壳体内的药液到药液腔内。该电化学沉积装置能够改善沉积层不均匀的现象,并且一定程度上保证玻璃的沉积工艺质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 电化学 沉积 装置 | ||
【主权项】:
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