[发明专利]一种曝光镜头的位置标定装置及其标定方法在审
| 申请号： | 202110186041.4 | 申请日： | 2021-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN112859545A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 刘栋;李伟成;张雷 | 申请（专利权）人： | 源能智创（江苏）半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215399 江苏省苏州市昆山市玉*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种曝光镜头的位置标定装置，用于确定直写式光刻设备的曝光镜头的位置坐标，包括安装于光刻设备的运动平台上的四象限光电探测器和位于四象限光电探测器上方的光罩，光罩至少对应于四象限光电探测器的一个象限设置有周期性分布的透光部与不透光部。通过曝光镜头产生相应的光斑并移动四象限光电探测器来确定曝光镜头的位置。通过设置周期性分布的透光部和不透光部能够使得四象限光电探测器在光斑下移动相同的距离，透射到探测器的光能则成比例的增加，提高了检测灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 镜头 位置 标定 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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