[发明专利]制造导电图案的方法、显示装置及制造显示装置的方法

摘要

公开了制造导电图案的方法、显示装置及制造显示装置的方法。所述制造导电图案的方法包括：在基底上形成导电金属材料层和导电覆盖材料层；在导电覆盖材料层上形成作为蚀刻掩模的光致抗蚀剂图案；通过使用第一蚀刻剂对导电覆盖材料层进行蚀刻来形成第一导电覆盖图案；通过使用第二蚀刻剂对导电金属材料层和第一导电覆盖图案进行蚀刻来形成导电金属层和第二导电覆盖图案；以及通过使用第三蚀刻剂对第二导电覆盖图案进行蚀刻来形成导电覆盖层。第二导电覆盖图案包括与导电金属层叠置的第一区域以及与导电金属层不叠置的第二区域，并且导电覆盖层的形成步骤包括对第二导电覆盖图案的第二区域进行蚀刻以形成导电覆盖层。