[发明专利]一种基于硅纳米结构的高分辨率结构色超表面及制备方法在审
| 申请号： | 202110188254.0 | 申请日： | 2021-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN113013630A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 尚潇;史丽娜;牛洁斌;李龙杰;王冲;谢常青;李泠;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01Q15/00 | 分类号： | H01Q15/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于硅纳米结构的高分辨率结构色超表面，包括：硅衬底；形成在衬底上的薄膜结构，薄膜结构为椭圆柱纳米结构；以及椭圆柱纳米结构形成椭圆柱纳米结构阵列，用于接收入射光。由介电材料硅衬底及椭圆柱纳米结构阵列在不同的偏振光照射下产生不同的结构色，达到显色的效果。本发明结构色超表面在亚波长范围内具有高分辨，易于制造和与传统半导体工艺兼容，且与化学染料和颜料相比具有环境友好性以及良好的耐久性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 纳米 结构 高分辨率 表面 制备 方法 | ||
【主权项】：
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