[发明专利]一种大口径平面光学元件面形绝对测量系统有效
| 申请号： | 202110188369.X | 申请日： | 2021-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN112815871B | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 朱小平;李加福;杜华;王凯;赵沫;赵彦龙 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京市恒有知识产权代理事务所(普通合伙) 11576 | 代理人： | 尹文会 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种大口径平面光学元件面形绝对测量系统，包括一对位移传感器及其位姿调整机构、大行程直线导轨、待测大口径平面光学元件、旋转机构及其角度调整机构和倾角测量仪，一对位移传感器反向共轴设置；控制器位移传感器沿大行程直线导轨移动，同时位移传感器测量其距离大口径平面光学元件测量面上测量线的距离，其中测量前将三面待检测的大口径平面光学元件两两组合后，依次按角度线进行扫描测量；控制倾角测量仪测量大口径平面光学元件测量面倾角变化；根据测量的大口径平面光学元件测量面倾角变化、位移传感器距离大口径平面光学元件测量面上测量线的距离，进行三面互检面形分离算法以及三维面形的重建后对大口径平面光学元件测量面进行平面度评定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 口径 平面 光学 元件 绝对 测量 系统 | ||
【主权项】：
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