[发明专利]一种基于路径规划的光学探针在线检测方法有效
申请号: | 202110188785.X | 申请日: | 2021-02-19 |
公开(公告)号: | CN112985299B | 公开(公告)日: | 2022-08-26 |
发明(设计)人: | 王占山;沈正祥;王旭;余俊 | 申请(专利权)人: | 同济大学 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人: | 叶敏华 |
地址: | 200092 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种基于路径规划的光学探针在线检测装置及其方法,该方法涉及到多次在线检测数据的重构三维测试曲面的过程,第一步在线检测曲面的径向误差数据,利用双探针探测方式,一个探针实时监测环境影响,另一探针检测多条过中心的径向轮廓数据;第二步在线检测曲面的周向轮廓数据,一个探针实时监测环境影响,另两个光学探针协同获得曲面的面形误差和主轴的旋转角度数据,检测路径为多个同心圆环;第三步利用第一步测试数据将第二步的测试数据坐标位置逐点修正,并重构成三维检测曲面。与现有技术相比,本发明能够有效降低环境因素对光学探针的扰动影响,并能提高较大口径非旋转对称曲面的在线检测精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 路径 规划 光学 探针 在线 检测 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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