[发明专利]一种区熔级多晶硅料的制备装置及方法

摘要

本发明提供了一种区熔级多晶硅料的制备装置，包括底盘；设置在底盘上的炉体，炉腔；硅芯，作为化学气相沉积的基质；主加热电源，主加热电源与硅芯电路连通为硅芯供电；原料进口，用于通入生成区熔级多晶硅料的气体原料；辅助加热装置。体外壁设有冷却夹套，冷却水腔与冷却夹套相连通。一种区熔级多晶硅料的制备方法，包括：将氯硅烷与氢气通入炉腔内；预热；进一步加热；将三氯氢硅和氢气通过主进气环管通入炉腔内；通过主进气环管开始增加三氯氢硅通入量、减少氢气通入量，其次开始通过次进气环管通入二氯二氢硅，最后开始减少二氯二氢硅的通入量。能够减少外界其他设备带来的污染、并且有效控制硅棒热应力的效果。