[发明专利]GaSb焦平面红外探测器的制备方法及GaSb焦平面红外探测器

摘要

本发明提供了一种GaSb焦平面红外探测器的制备方法及GaSb焦平面红外探测器，其中，该制备方法包括：在GaSb衬底上光刻制备对准标记，得到带有对准标记的GaSb衬底；在带有对准标记的GaSb衬底表面光刻制备焦平面阵列，并曝露焦平面阵列像元区域，并对像元区域进行掺杂；在像元区域及GaSb衬底上分别制备欧姆接触电极，并制备与欧姆接触电极发生互联的铟柱；将带有铟柱的GaSb衬底与读出电路实现电性连接，制备得到GaSb焦平面红外探测器。