[发明专利]柔性电泵浦ZnO纳米线激光器阵列结构及其制备方法在审
| 申请号： | 202110191414.7 | 申请日： | 2021-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN113013731A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 阙妙玲;孙云飞;孙晓红;陈丽香;孙佳惟 | 申请（专利权）人： | 苏州科技大学 |
| 主分类号： | H01S5/40 | 分类号： | H01S5/40;H01S5/34;H01S5/323 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性电泵浦ZnO纳米线激光器阵列结构及其制备方法。所述激光器阵列结构包括：柔性基底；结合在柔性基底上的GaN层；设置在GaN层上的底电极；外延生长于所述GaN层上的ZnO纳米线阵列，所述ZnO纳米线阵列包括多根竖立设置的ZnO纳米线，其中相邻ZnO纳米线的间隙内填充有保护材料；覆盖在ZnO纳米线阵列上的电介质层；以及，设置在电介质层上的、作为顶电极的金属层；其中，每一ZnO纳米线分别与一顶电极及一底电极配合形成一个纳米激光器单元。本发明提供的激光器阵列结构具有阵列规模大、高密度阵列化工作、可控性好等特点，且制备工艺简单，在可穿戴电子皮肤及柔性传感器等领域具有较好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 电泵浦 zno 纳米 激光器 阵列 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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