[发明专利]一种立式高温氧化、退火炉在审
| 申请号： | 202110191565.2 | 申请日： | 2021-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN112833661A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 宋立禄;张海林;吴季浩;滕玉朋;刘国霞 | 申请（专利权）人： | 青岛赛瑞达电子装备股份有限公司 |
| 主分类号： | F27B1/09 | 分类号： | F27B1/09;F27B1/10;F27B1/14;F27B1/28;F27D1/18;F27D7/06;F27D11/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明的一种立式高温氧化、退火炉包括：真空密封炉膛，通过炉底法兰与真空密封炉膛连接的炉门室，炉门室底部开口处通过炉门密封，真空密封炉膛内设有保温层，所述保温层与工艺炉管之间形成加热腔，所述加热腔内设置加热器；所述工艺炉管与炉底法兰、炉门室、炉门密闭形成工艺腔；穿过所述保温层和炉壳分别设置炉壳真空管和炉壳进气管；穿过所述炉门室一侧设置工艺腔真空管，另一侧设置工艺腔进气管。本发明通过在真空密封炉膛内设置炉底保温层，炉壳保温层，炉盖保温层，且炉盖保温层与炉盖进行内部固结形成一体，炉壳内的三组保温层形成一个封闭保温空腔，使得立式高温氧化炉加热达到的温度能够稳定的保持，减少能源消耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 立式 高温 氧化 退火炉 | ||
【主权项】：
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