[发明专利]超导量子比特空气桥的除胶方法及其芯片在审
| 申请号： | 202110193710.0 | 申请日： | 2021-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN113003535A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 宿非凡;杨钊华;田野;赵士平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | B82Y10/00 | 分类号： | B82Y10/00;B82B3/00 |
| 代理公司： | 北京市英智伟诚知识产权代理事务所(普通合伙) 11521 | 代理人： | 刘丹妮;姚望舒 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种超导量子比特空气桥的除胶方法，所述方法包括利用丙酮和N‑甲基吡咯烷酮混合溶液对多超导量子比特空气桥上的光刻胶进行喷淋处理。本发明方法成功去除了超导量子比特空气桥工艺中的光刻胶，解决了原有浸泡法除胶所存在的问题。经测试，应用本发明工艺所得到的多量子比特性能达到世界相应水平。 | ||
| 搜索关键词： | 超导 量子 比特 空气 方法 及其 芯片 | ||
【主权项】：
暂无信息
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