[发明专利]一种谐振器件及声学滤波器在审
| 申请号： | 202110194135.6 | 申请日： | 2021-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN112953453A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 龚颂斌;杨岩松 | 申请（专利权）人： | 偲百创（深圳）科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/64 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区梅林街道梅都社*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种谐振器件及声学滤波器。谐振器件包括晶圆衬底、压电层以及叉指电极层；压电层位于晶圆衬底的一侧，压电层包括压电单晶材料，压电单晶材料包括互相垂直的第一晶轴、第二晶轴以及第三晶轴；叉指电极层产生于压电层内的电场方向为器件方向；其中，第一晶轴垂直于晶圆衬底，且器件方向与第二晶轴的夹角为角A1，‑30°≤A1≤10°；或者，第一晶轴垂直于晶圆衬底，且器件方向与第二晶轴的夹角为角A2，170°≤A2≤210°；或者，第二晶轴与垂直于晶圆衬底的方向的夹角为角B1，‑20°≤B1≤40°，且器件方向与第一晶轴的夹角为角B2，‑20°≤B2≤20°；在保证谐振器件低制造成本的同时，提高了谐振器件的工作频率及性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 谐振 器件 声学 滤波器 | ||
【主权项】：
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