[发明专利]体声波谐振结构及其制造方法有效
| 申请号： | 202110199093.5 | 申请日： | 2021-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN113726308B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 张大鹏;高智伟;林瑞钦;段志 | 申请（专利权）人： | 武汉衍熙微器件有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 高天华;张颖玲 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉市江夏区经济开发区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种体声波谐振结构及其制造方法，其中，所述体声波谐振结构包括：衬底；依次层叠于衬底上的第一电极层、反射结构、压电层和第二电极层；其中，所述压电层中设置有环状的凹槽；所述凹槽处于有源区内，且靠近所述有源区的边缘。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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