[发明专利]芯片转移机械手有效
| 申请号： | 202110200928.4 | 申请日： | 2021-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN112563178B | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 宋友奎 | 申请（专利权）人： | 宁波群芯微电子有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 武振华;张振军 |
| 地址： | 315336 浙江省宁波市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种芯片转移机械手，包括：竖直的机械手柱；第一机械手杆，所述第一机械手杆的第一端与所述机械手柱连接，所述第一机械手杆的第二端设置有第一吸盘；第二机械手杆，所述第二机械手杆的第一端与所述机械手柱连接，所述第二机械手杆的第二端设置有第二吸盘；所述第一机械手杆与所述机械手柱的连接位置与所述第二机械手杆与所述机械手柱的连接位置之间具有高度差，以使得第一机械手杆与所述第二机械手杆在转动时不接触。本发明可以使得各个机械手杆可以独立取料放料，且不会在工作时相互碰撞，实现更加复杂的操作，占用较少的厂房面积，提高生产效率，以及降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 转移 机械手 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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