[发明专利]一种红外焦平面探测器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种红外焦平面探测器的制作方法，通过在p型基体上表面设置钝化层；透过所述钝化层对所述p型基体进行整面注入，得到连续的n型掺杂层；在所述钝化层表面光刻隔离槽图形，并根据所述隔离槽图形，刻蚀得到穿透所述钝化层及所述n型掺杂层，且底面与所述p型基体接触的图形化的隔离槽，制得红外焦平面探测器；其中，所述n型掺杂层包括多个被所述隔离槽分隔的探测像元。本发明通过隔离槽从空间上分隔相邻的探测像元，避免了探测像元间的串音现象，提升了探测器的探测精度，保障了信号强度，本发明不需要通过光刻胶层进行离子注入掺杂，也就避免了注入前表面污染残留的问题。本发明同时提供了一种具有上述有益效果的红外焦平面探测器。