[发明专利]一种基于时间测角的新型传感器及其角度测量方法

摘要

本发明涉及一种基于时间测角的新型传感器及其角度测量方法，包括步骤：设置每组测头装置中光波导阵列器件调整后的激光入射至参考光电探测器的时间t0(j)等于0，并记录光波导阵列器件调整后的激光经多边正棱柱反射至M个测量光电探测器的时间分别为ti(j)；根据激光入射至测量光电探测器的时间ti(j)，依次计算该组测头装置在ti(j)时刻对应的多边正棱柱的相对角度，从而计算角度增量，所述角度增量作为被测物体在t(i‑1)(j)时刻到ti(j)时刻之间的旋转角度。通过光波导阵列器件实现激光入射角的高频改变，通过激光入射至参考光电探测器与测量光电探测器的时间差确定出多边正棱柱的相对旋转角度，角度测量精度将与时间测量精度相关，而不再由光电探测器的精度决定。