[发明专利]一种电介质薄膜多物理参数同时测量方法在审
| 申请号： | 202110203283.X | 申请日： | 2021-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN112964937A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 张军 | 申请（专利权）人： | 江苏腾锐电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/26 | 分类号： | G01R27/26;G01R29/00;G06F30/27;G06N3/063 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226500 江苏省南通市如*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电介质薄膜多物理参数同时测量方法，由电子束照射下的透射电流、电子束诱导电流及表面电位，间接测量薄膜的物理参数：缺陷密度、介电常数、电子迁移率。基本思想是：针对给定的电介质薄膜、给定的电子束照射条件、以及陷阱密度、电子迁移率与介电常数，采用数值计算获得对应的透射电流、电子束诱导电流、表面电位；然后基于Elman人工神经网络建立多物理参数与透射电流、电子束诱导电流、表面电位之间的非线性关系；最后实验测量待测对象的透射电流、电子束诱导电流及表面电位，最终通过Elman网络获取多物理参数。本发明的优点是，测量可靠、测量速度快、测量成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电介质 薄膜 物理 参数 同时 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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