[发明专利]工艺建模整合系统、储存介质及计算机设备在审
| 申请号： | 202110205031.0 | 申请日： | 2021-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN112926204A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 徐莹;周维 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/20 | 分类号： | G06F30/20;G06Q10/06 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭立 |
| 地址： | 201315 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种工艺建模整合系统，包括：工艺流程导入模块，用于导入工艺流程各步骤和/或所述各步骤的参数结构；系统逻辑验证模块，用于验证所述各步骤的完整性和正确性；关联人定义模块，用于定义技术参数导入的多个关联人和/或验证的多个确认人；技术参数导入和验证模块，用于导入技术参数并验证所述技术参数是否完整和正确；数据整合模块，用于对验证通过的所述各步骤的所述技术参数进行整合；输出模块，用以将所述数据整合模块输出的数据输出至建模系统。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺 建模 整合 系统 储存 介质 计算机 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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