[发明专利]一种调整PU材料研磨垫亲疏水性的方法在审
| 申请号： | 202110205400.6 | 申请日： | 2021-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN112809548A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 颜冠致;毛长虹;李文华;朱咏民 | 申请（专利权）人： | 合肥铨得合半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24;B24B53/017 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 231272 安徽省合肥市经济技*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种调整PU材料研磨垫亲疏水性的方法，在制备原料中增加亲疏水性的添加剂，以调整PU材料研磨垫的亲疏水性能。达到研磨垫疏水性好，研磨芯片质量提高的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调整 pu 材料 研磨 亲疏 水性 方法 | ||
【主权项】：
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