[发明专利]MEMS陀螺仪在审
| 申请号： | 202110209746.3 | 申请日： | 2021-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN112857350A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 李杨;杨珊;阚枭;占瞻;马昭;谭秋喻;黎家健;洪燕 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（南京）有限公司;深圳导远科技有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 深圳中细软知识产权代理有限公司 44528 | 代理人： | 袁文英 |
| 地址： | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS陀螺仪，包括内质量环、外质量环、锚点结构、换能器和内外耦合梁，所述内质量环包括4N个呈圆周阵列分布的内质量块和连接在相邻两个所述内质量块之间的内质量耦合梁，其中，N为整数，且N≥2；所述外质量环同轴设置在所述内质量环的外侧，所述外质量环包括分别与4N个内质量块位于同一径向的外质量块和连接在相邻两个外质量块之间的外质量耦合梁；所述内外耦合梁连接在相邻的所述外质量块与所述内质量块之间，能够传递相邻的所述内质量块与所述外质量块之间的径向力。本发明的MEMS陀螺仪具有较大有效质量，提高了分辨率，驱动/检测模态频率相差较小。 | ||
| 搜索关键词： | mems 陀螺仪 | ||
【主权项】：
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