[发明专利]一种零模波导器件及其制备方法在审
| 申请号： | 202110210183.X | 申请日： | 2021-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN112965164A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 周连群;付博文;郭振;李传宇;李金泽;张芷齐;李超;张威;姚佳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 |
| 主分类号： | G02B6/10 | 分类号： | G02B6/10;G02B6/136;G02B6/13 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 薛异荣 |
| 地址： | 215163 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种零模波导器件及其制备方法，零模波导器件包括：透明衬底，透明衬底包括底部衬底层和位于底部衬底层上的若干个凸台层，凸台层的侧壁表面与凸台层朝向底部衬底层的底面呈锐角；纳米孔阵列层，纳米孔阵列层设置于凸台层背离底部衬底层的一侧表面，纳米孔阵列层中具有若干个纳米孔，纳米孔与凸台层一一对应设置；反射膜层，反射膜层位于凸台层的侧壁表面，降低了零模波导器件对检测数据的分析难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波导 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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