[发明专利]托盘平面度检测系统及其使用方法有效
| 申请号： | 202110212404.7 | 申请日： | 2021-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN113091660B | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 曹跃飞 | 申请（专利权）人： | 华灿光电（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | G01B13/22 | 分类号： | G01B13/22;G01L13/00 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 吕耀萍 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本公开提供了托盘平面度检测系统及其使用方法，属于托盘平面度检测技术领域。将待测试托盘放置在支撑盘上，真空吸附装置使支撑盘与待测试托盘之间形成真空。注气装置中的注气器件向注气孔注入气体，气流经过注气孔均匀地进入支撑盘与待测试托盘之间，使支撑盘与待测试托盘之间形成间隙。测量装置测量注气孔与第一压差测量孔之间的压差以及第一压差测量孔与第二压差测量孔之间的压差，待测试托盘平面度高，两个位置处的压差均应接近为零。存在磨损，则两个位置处的压差会存在较大差别，可以以较为简单的结构测出待测试托盘的平面度，便于对托盘的平面度的检测且整体成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 托盘 平面 检测 系统 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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