[发明专利]一种基于多级原位热处理的无机太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于多级原位热处理的无机太阳能电池，属于无机薄膜光伏发电领域，所述无机太阳能电池采用正置结构，从下到上依次为衬底，透明导电电极ITO，CdS缓冲层，Sb2Se3吸收层及金属电极，所述Sb2Se3吸收层制备后采用多级原位进行热处理。在原位热处理的基础上进一步的协同应用多级原位处理，即在硒化氢与硫化氢气氛中进行热退火处理，向Sb2Se3薄膜补充硒原子和硫原子，填补缺陷，促进晶体再次生长，从而提高薄膜的平整度，减少缺陷，进一步的提高薄膜质量，提升光伏器件性能。