[发明专利]一种气相缓蚀剂及其制备方法在审
申请号: | 202110214469.5 | 申请日: | 2021-02-25 |
公开(公告)号: | CN114959712A | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 刘冬梅;杨兰田;曾文广;陈浩;石鑫;魏晓静;刘青山;杨康;周峰;闻小虎;周诗杰 | 申请(专利权)人: | 中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司西北油田分公司 |
主分类号: | C23F11/02 | 分类号: | C23F11/02 |
代理公司: | 北京精金石知识产权代理有限公司 11470 | 代理人: | 张黎 |
地址: | 100728 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: |
本发明提供一种气相缓蚀剂及其制备方法,其中,该缓蚀剂分子式为R |
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搜索关键词: | 一种 气相缓蚀剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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