[发明专利]石墨烯太赫兹光源器件及其制作方法有效
| 申请号： | 202110214472.7 | 申请日： | 2021-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN113013714B | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 秦华;朱成成;向兰勇;孙建东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | H01S1/02 | 分类号： | H01S1/02;H01L33/34;H01L33/36;H01L33/40;H01L33/00 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石墨烯太赫兹光源器件及其制作方法。所述石墨烯太赫兹光源器件包括：石墨烯沟道区、源极、漏极和栅极，所述石墨烯沟道区设置在栅极上方，所述源极经石墨烯沟道区漏极电连接，所述栅极包括异质结、第一电极和第二电极，所述异质结内形成有二维电子气，所述第一电极和第二电极通过所述二维电子气电连接，且所述石墨烯沟道区能够与所述异质结内的二维电子气互调。本发明实施例提供的一种石墨烯太赫兹光源器件可形成石墨烯等离激元的场效应太赫兹器件，而石墨烯的高载流子迁移率可以带来器件的更高灵敏度和电学响应。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 赫兹 光源 器件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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