[发明专利]一种制备双层单晶石墨烯的方法有效
申请号: | 202110215730.3 | 申请日: | 2021-02-26 |
公开(公告)号: | CN113089094B | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 徐小志;梁智华;曾凡凯;王然;唐志列 | 申请(专利权)人: | 华南师范大学 |
主分类号: | C30B29/02 | 分类号: | C30B29/02;C30B25/02;C30B25/08 |
代理公司: | 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 | 代理人: | 吴静芝 |
地址: | 510006 广东省广州市番禺区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种制备双层单晶石墨烯的方法,该方法包括如下步骤:1)将含碳类化合物和铜箔放置于刚玉盒中,再将所述刚玉盒放置于气相沉积炉中;2)往所述气相沉积炉内通入氩气和氢气,将所述气相沉积炉加热至高温1030‑1045℃;3)保持所述气相沉积炉的温度,增大氢气的通入量,将所述铜箔退火;4)往所述气相沉积炉内通入甲烷,减小氢气的通入量,开始双层单晶石墨烯在所述铜箔上的生长过程;5)双层单晶石墨烯生长完毕后,停止通入甲烷,使所述气相沉积炉在氢气和氩气的氛围下自然冷却到室温。本发明的方法通过简单方便的方式优化双层石墨烯的生长,生长出质量高的双层单晶石墨烯,该方法具有步骤简单、制备条件易于控制的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 制备 双层 晶石 方法 | ||
【主权项】:
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