[发明专利]显示面板及其制备方法、显示装置

摘要

本申请公开了一种显示面板及其制备方法、显示装置，在衬底基板上形成低温多晶硅TFT的有源层，在低温多晶硅层上沉积第一栅极绝缘层，在第一栅极绝缘层上形成低温多晶硅TFT的栅极和氧化物TFT的源极，形成第二栅极绝缘层，在第二栅极绝缘层上形成过孔，在第二栅极绝缘层上沉积低温多晶硅TFT源漏极层、氧化物TFT漏极层，在过孔内沉积氧化物TFT栅极层，在过孔内沉积氧化物TFT有源层，在第二栅极绝缘层上设置钝化层。根据本申请实施例提供的技术方案，通过将氧化物TFT制备成与低温多晶硅TFT垂直的结构，减少该显示面板制备过程中的步骤，节约了成本；并且垂直结构的氧化物TFT在保留其漏电流低的优势的同时，提高开关的打开能力。