[发明专利]一种直拉法单晶硅炉热场自动拆除设备在审
| 申请号： | 202110217149.5 | 申请日： | 2021-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN112853474A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 吴德强;鞠修勇;孙亮;李强;高英贤;郑家坤;杨希 | 申请（专利权）人： | 连智（大连）智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 大连智高专利事务所(特殊普通合伙) 21235 | 代理人： | 张钦 |
| 地址： | 116033 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于光伏、半导体技术领域，公开了一种直拉法单晶硅炉热场自动拆除设备。包括平行机械手、旋转机械手、机械手升降装置、水平伺服移动机械臂，所述水平伺服移动机械臂两侧分别设有机械手升降装置，其中一个机械手升降装置底部设置平行机械手，另一个机械手升降装置底部设置旋转机械手；所述水平伺服移动机械臂上设有升降装置，所述升降装置底部连接有伺服回转装置；所述设备整体设置在行走AGV车上，整个设备还外配有物料小车。本发明提供的单晶硅炉热场自动拆除设备运用工业自动化技术和耐高温材料，实现在高温条件下自动拆除单晶硅炉热场，可以有效缩短冷却等待时间，提高单晶硅炉的使用效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直拉法 单晶硅 炉热场 自动 拆除 设备 | ||
【主权项】：
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