[发明专利]一种氧化锌/氧化镍透明薄膜晶体管及制备方法有效
| 申请号： | 202110219343.7 | 申请日： | 2021-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN112909096B | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 蔡杰 | 申请（专利权）人： | 贵溪穿越光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336 |
| 代理公司： | 深圳市洪荒之力专利代理有限公司 44541 | 代理人： | 庄露露 |
| 地址： | 335400 江西省鹰潭市贵溪市*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： |
本发明涉及电子显示材料的技术领域，提供了一种氧化锌/氧化镍透明薄膜晶体管及制备方法。所述透明薄膜晶体管是以高掺杂硅片为底栅极，以二氧化硅为绝缘层，以氧化锌/氧化镍复合薄膜为半导体沟道材料，以Al为源极和漏极。其中，氧化锌/氧化镍复合薄膜是以六水合硝酸锌、六水合硝酸镍、氨基酸、去离子水组成的前驱体溶液经超声喷雾热解而附着于绝缘层上的。其中，氨基酸为L‑组氨酸或L‑半胱氨酸中的一种。本发明制得的薄膜晶体管的载流子迁移率达到38cm |
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| 搜索关键词： | 一种 氧化锌 氧化 透明 薄膜晶体管 制备 方法 | ||
【主权项】：
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